技術(shù)編號：12579161
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種加速度傳感器及其制造方法。背景技術(shù)MEMS(MicroElectroMechanicalSystems)加速度計就是使用MEMS技術(shù)制造的加速度計。由于采用了微機電系統(tǒng)技術(shù)，使得其尺寸大大縮小，具有體積小、重量輕、能耗低等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用在軍事、汽車工業(yè)、消費類電子產(chǎn)品等領(lǐng)域。其中，較為常用的是電容式加速度傳感器，其基本工作原理在于，敏感質(zhì)量塊借助于懸掛裝置支撐在基底上，同時連接可動電極?？蓜与姌O和固定電極形成一個或多個敏感電容，待測加速度作用在敏感質(zhì)量塊上產(chǎn)生的...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。