技術(shù)編號:12581912
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型屬于藍寶石單晶培養(yǎng)設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種藍寶石單晶電阻生長爐。背景技術(shù)目前,藍寶石單晶電阻生長爐是培養(yǎng)藍寶石單晶的設(shè)備,幾乎每進行一次單晶培養(yǎng)后,都需要對變形的溫場結(jié)構(gòu)進行調(diào)整,而溫場的結(jié)構(gòu)及其均勻程度直接關(guān)系到單晶的生長效率及質(zhì)量。對于泡生法,以及各種改進的泡生法所使用的傳統(tǒng)生長爐,在調(diào)整溫場結(jié)構(gòu)前需要將小爐蓋和大爐蓋打開,才能露出爐體內(nèi)部完整溫場系統(tǒng)進行調(diào)整,由于傳統(tǒng)藍寶石單晶電阻生長爐的加熱電極和電阻加熱元件等部件是吊裝在大爐蓋上,所以每次打開大爐蓋前必須將加熱電極和電阻加熱元件...
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