技術(shù)編號:12614291
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制備領(lǐng)域,特別涉及一種隱形切割制備正、倒和倒梯形臺狀襯底的LED芯片的方法。背景技術(shù)自上世紀(jì)90年代以來,GaN基LED引起廣泛關(guān)注并取得了迅猛的發(fā)展。LED具有波長可調(diào)、輕便靈活、能耗低、工作電壓低、定向發(fā)光、無污染、壽命長、響應(yīng)時(shí)間快等顯著優(yōu)勢,在白光照明、可見光通信、聚合物固化、殺菌消毒等方面有著巨大的市場價(jià)值或潛在應(yīng)用價(jià)值。LED的發(fā)光效率主要受兩方面因素的影響。一是內(nèi)量子效率,即將注入的電能轉(zhuǎn)化為光能的效率,主要取決于半導(dǎo)體材料的外延質(zhì)量和外延結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)。二是光提取效率...
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