技術(shù)編號(hào)：12646405
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種PECVD雙面沉積設(shè)備。背景技術(shù)在光伏太陽(yáng)能行業(yè)，高效率PERC太陽(yáng)能電池的制造要經(jīng)過(guò)制絨，擴(kuò)散，刻蝕，鍍膜，絲網(wǎng)印刷，燒結(jié)和退火七大工序。其中，鍍膜工序的目的是采用等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的方法在硅片背面鍍氧化鋁膜和氮化硅膜，以及在硅片正面鍍氮化硅膜。目前，光伏行業(yè)大多采用管式PECVD或板式PECVD對(duì)硅片單面鍍氮化硅膜，操作員工將花籃中的硅片插入專門(mén)的石墨舟或石墨框里，或者通過(guò)自動(dòng)上下料機(jī)將硅片插入石墨舟或石墨框，然后將石墨舟或石墨框放入爐管中鍍膜。...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。