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      具有由準(zhǔn)靜態(tài)壓電致動(dòng)可傾斜的結(jié)構(gòu)的微機(jī)械設(shè)備的制作方法與工藝技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):12660122

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      具有由準(zhǔn)靜態(tài)壓電致動(dòng)可傾斜的結(jié)構(gòu)的微機(jī)械設(shè)備優(yōu)先權(quán)本申請(qǐng)要求于2015年12月7日遞交的意大利專利申請(qǐng)?zhí)枮?02015000080884的優(yōu)先權(quán),其公開(kāi)通過(guò)引用而被結(jié)合。技術(shù)領(lǐng)域本發(fā)明涉及具有由準(zhǔn)靜態(tài)(quasi-static)壓電致動(dòng)可傾斜的結(jié)構(gòu)的微機(jī)械設(shè)備。特定地,在下文中將參照以MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)而獲得的微鏡,而這不暗示任何一般性損失。背景技術(shù)微機(jī)械結(jié)構(gòu)已知為具有利用半導(dǎo)體材料的技術(shù)獲得的鏡結(jié)構(gòu)。這些微機(jī)械設(shè)備被用在便攜裝置中,諸如舉例為便攜計(jì)算機(jī)、膝上型電腦、筆記本電腦(包括超薄...
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