技術(shù)編號：12680052
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種離子注入輔助的超薄膜材料剝離方法。它借助可精確控制注入深度的離子注入和熱誘導(dǎo)原子擴(kuò)散，從體材料或厚度較厚的層狀材料中剝離超薄膜，厚度精度最高可達(dá)原子級，屬于超薄材料制備領(lǐng)域。背景技術(shù)納米級薄膜材料由于其超薄的厚度，展現(xiàn)出了一些新奇的物理特性，正在逐漸成為材料科學(xué)研究的一個熱門方向。然而，如何高效制備包含二維材料在內(nèi)的超薄膜材料卻一直是一個難題。當(dāng)前，薄膜制備的常用的方法是磁控濺射，這種方法對材料的性質(zhì)和設(shè)備真空度有著很高的要求；并且由于在這個過程中，原子從靶材上被轟擊出來再沉積到襯...
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