技術編號：12774102
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體領域，具體地，本發(fā)明涉及一種MEMS器件及其制備方法、電子裝置。背景技術隨著半導體技術的不斷發(fā)展，在傳感器(motionsensor)類產品的市場上，智能手機、集成CMOS和微機電系統(MEMS)器件日益成為最主流、最先進的技術，并且隨著技術的更新，這類傳動傳感器產品的發(fā)展方向是規(guī)模更小的尺寸，高質量的電學性能和更低的損耗。其中，微電子機械系統(MEMS)在體積、功耗、重量以及價格方面具有十分明顯的優(yōu)勢，至今已經開發(fā)出多種不同的傳感器，例如壓力傳感器、加速度傳感器、慣性傳感器以及...
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