技術(shù)編號：12796595
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。用于基于真空調(diào)節(jié)部件流動和單個化的系統(tǒng)、裝置和方法本申請是申請日為2011年12月8日、申請?zhí)枮?011104210908、發(fā)明名稱為“用于基于真空調(diào)節(jié)部件流動和單個化的系統(tǒng)、裝置和方法”的中國專利申請的分案申請。技術(shù)領(lǐng)域本公開總體上涉及基于真空的，且用于調(diào)節(jié)物件或部件(例如，半導(dǎo)體部件)流動或運(yùn)動和/或用于分隔沿進(jìn)給軌道移動、運(yùn)輸或遞送的物件或部件的系統(tǒng)、組合件、裝置和方法。更具體地，本公開涉及了提供至少一個，以及在一些實(shí)施方案中提供多個旨在周期或間歇地施加真空力的分立或獨(dú)立真空單元、腔或區(qū)的...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。