技術(shù)編號(hào)：12920251
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種鍍膜機(jī)，尤其涉及一種熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)。背景技術(shù)蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來并且沉降在基片表面，通過成膜過程(散點(diǎn)－島狀結(jié)構(gòu)-迷走結(jié)構(gòu)-層狀生長)形成薄膜。目前，熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)普遍使用的工件架系統(tǒng)從外形結(jié)構(gòu)來說分為幾大類，傘形(多片式、整體式)、行星式(平面行星式、傘形行星)、平板式(水平、斜面)等，該類工件架系統(tǒng)一般只適用于基片單面鍍膜，用于基片兩面鍍膜的翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性差。實(shí)用新型內(nèi)容為解決現(xiàn)有的熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)中用于基片兩面鍍膜的翻轉(zhuǎn)系統(tǒng)穩(wěn)定性較差的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。