技術(shù)編號(hào)：1329225
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型系與制品去塵有關(guān)，更詳而言之是指一種密閉式集塵吹氣機(jī)。背景技術(shù)隨著科技產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步，如半導(dǎo)體、光電、醫(yī)藥、食品等精密工業(yè)中亦日漸發(fā)達(dá)。而上述工業(yè)產(chǎn)品的質(zhì)量、可靠性以及良率高低與制造環(huán)境與制造過(guò)程的潔凈程度有著極大的關(guān)系。 對(duì)于微塵顆粒有極為嚴(yán)格要求的晶圓廠潔凈室，經(jīng)常利用人工進(jìn)行高壓空氣吹除或以真空吸取方式，去除附著于對(duì)象表面的微塵，不僅清潔無(wú)法達(dá)到最佳的效果，且吹氣產(chǎn)生的擾流亦會(huì)引起微塵顆粒飛濺四射于潔凈室內(nèi)，進(jìn)而造成潔凈室污染，降低潔凈室的等級(jí)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。