技術(shù)編號：1366790
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及一種治具，尤其涉及一種玻璃晶圓清洗治具。背景技術(shù)光學玻璃晶圓主要應(yīng)用在精密的電子、數(shù)碼產(chǎn)品、儀器儀表及光學元件等領(lǐng)域，對晶圓的表面要求有極高的平面度、平行度、粗糙度以及打孔的精準度。玻璃晶圓的生產(chǎn)制程精密，其中，清洗工藝也是生產(chǎn)制程中關(guān)鍵的一環(huán)。當前的清洗工藝主要采用超聲波清洗機進行操作，在清洗工藝中既要保證玻璃晶圓表面的有機物、顆粒、雜質(zhì)、自然氧化層等物質(zhì)的有效去除，又要有效地保護玻璃晶圓表面特性。因此，產(chǎn)品在清洗過程中如何放置也是影響清洗...
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