技術(shù)編號：1401285
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及集成電路制造領(lǐng)域，特別是涉及一種晶片盒清潔裝置。 背景技術(shù)在集成電路制造領(lǐng)域，晶片在制造過程中需要極其嚴(yán)格的潔凈度條件。半導(dǎo)體工 廠均擁有大型風(fēng)扇和循環(huán)風(fēng)扇用以保持一種無塵環(huán)境和滿足空調(diào)負載計算的需要；并在 無塵室的不同位置安裝了空氣粒子監(jiān)測系統(tǒng)，以監(jiān)測任何可能的大量粒子的出現(xiàn)；此外， 為了滿足潔凈度條件要求還采用一種非常嚴(yán)格的著裝規(guī)定。然而，這些做法仍然難以滿足 晶片制造所要求的潔凈度條件，并且成本高昂。因此，業(yè)界推出一種技術(shù)，用以提供半導(dǎo)...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。