技術(shù)編號：1402249
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種清潔裝置，特別涉及一種針對快速熱處理機(jī)臺反射面板的清潔裝置。背景技術(shù)快速熱處理機(jī)臺的探測頭和反射面板用于探測腔室內(nèi)晶圓表面的溫度，采用光感原理對晶圓表面進(jìn)行探測?？焖贌崽幚頇C(jī)臺進(jìn)行性能維護(hù)的時候，涉及對探針頭和反射面板的清洗，通常使用含50%異丙醇的清潔布對反射面板的表面順時針進(jìn)行擦拭。探測頭的位置處于反射面板的中間，由七個探測頭組成分別檢測晶圓的七個方位點(diǎn)，由于探測頭表面是鑲嵌在反射面板的表面，在擦拭反射面板表面的同時需要對探測頭進(jìn)行特...
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