技術編號：1479182
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于一種排氣風管清潔系統(tǒng)；具體而言，本發(fā)明是有關于一種供 半導體工藝中處理粉塵所使用的排氣風管清潔系統(tǒng)。背景技術半導體相關產(chǎn)業(yè)經(jīng)過多年發(fā)展，制造技術精益求精。半導體制造工藝中需 要使用例如氣相沉積(CVD， chemical vapor deposition)以及蝕刻(etch)等化 學相關的技術，其所衍生的廢氣以及粉塵等的廢棄物，通常具有腐蝕性以及毒 性，容易使制造設備損壞。因此，必須架設特殊設備對廢棄物進行處理。 一般 而言，氣相沉積以及蝕刻技...
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