技術編號：1848746
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及對在硅片切片機的加工過程中出現(xiàn)斷線事故進行搶救的搶救方法。具體地，本發(fā)明涉及在發(fā)生斷線事故的硅片中保留斷線鋼線，用于固定硅片位置以利于重新布線對刀的方法。背景技術隨著全球各國綠色能源的推廣和近年來半導體產(chǎn)業(yè)的超常規(guī)發(fā)展，硅片市場的供給已極度不平衡，切割加工能力的落后和產(chǎn)能的嚴重地制約了產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。近年來出現(xiàn)的新型硅片多線切割技術現(xiàn)已是硅片(晶圓)上游生產(chǎn)的關鍵技術，具有切割表面質量高、切割效率高和可切割大尺寸材料、方便后續(xù)加工等特點。目前已有商業(yè)...
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