技術(shù)編號(hào)：1851339
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)，具體涉及一種用于旋轉(zhuǎn)涂布玻璃的溶劑噴涂裝置。背景技術(shù)旋轉(zhuǎn)涂布玻璃(spin on glass coating, SOG),也稱旋制氧化娃,它是半導(dǎo)體制程中主要的局部性平坦化技術(shù)，用于使金屬層間平坦化，以增加層與層之間的結(jié)合特性，避免空洞的形成以及膜的剝裂。具體地，SOG是將含有介電材料的液態(tài)溶劑以旋轉(zhuǎn)涂布的方式，均勻地涂布在晶圓的表面，以填補(bǔ)沉積介電層凹陷的孔洞，再經(jīng)過熱處理，以去除溶劑，從而在晶圓表面上留下固化后近似二氧化硅的介電材...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。