技術(shù)編號：18564393
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種精簡工藝的微鏡芯片及制造方法，屬于微機電系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域。背景技術(shù)常用的微機電系統(tǒng)驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括靜電驅(qū)動被廣泛應(yīng)用，其中靜電驅(qū)動主要采用梳齒結(jié)構(gòu)，梳齒結(jié)構(gòu)一般分為兩類，一類是面內(nèi)梳齒結(jié)構(gòu)，用作面內(nèi)結(jié)構(gòu)驅(qū)動；一類是上下梳齒結(jié)構(gòu)，用作面外驅(qū)動，面外驅(qū)動的動齒和固齒一高一低不在一個平面。上下梳齒結(jié)構(gòu)可以用來制作掃描微鏡，三軸加速度計、三軸陀螺儀。但是要制作高低梳齒，現(xiàn)有的高低梳齒設(shè)計中，傳統(tǒng)MEMES制造工藝?yán)面I合工藝分別刻蝕高低梳齒，或者利用多次光刻分別刻蝕高低梳齒，需要高精度對準(zhǔn)，對工藝...
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