技術(shù)編號(hào)：1877675
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于激光加工領(lǐng)域，具體涉及ー種脈沖激光脆性材料微加工方法及系統(tǒng)。背景技術(shù)激光直刻エ藝具有分辨率高、不需要特制掩模就能實(shí)現(xiàn)圖形轉(zhuǎn)移等優(yōu)點(diǎn)，因而在刻蝕加工領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用。但是對(duì)于如硅、神化鎵、玻璃等脆性材料，目前的激光刻蝕エ藝微孔或細(xì)線的深寬比一般只能達(dá)到I左右，普通電化學(xué)刻蝕此值更小。脆性材料大深寬比的刻蝕加工尚在研究中。發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于提供ー種脈沖激光脆性材料微加工方法，用高能量脈沖激光對(duì)水中的脆性材料進(jìn)行微加工，微孔的深寬比超過(guò)1，甚至可...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。