技術(shù)編號：1904718
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種粘附載玻片的處理工藝，該處理工藝包括以下步驟（1）準(zhǔn)備未處理的潔凈載玻片基材；（2）將放入沉積設(shè)備中的載玻片加熱至設(shè)置溫度，50~120℃；（3）將體系壓力降至-80~-100KPa；（4）將預(yù)先配制好的氨基硅烷溶液注入蒸發(fā)設(shè)備中；（5）維持反應(yīng)時間為5~40分鐘，氨基硅烷溶液蒸發(fā)為氨基硅烷蒸汽，蒸汽與玻璃表面接觸后自動吸附并沉積在載玻片上；（6）恢復(fù)體系壓力至常壓，取出載玻片。有益效果本發(fā)明與現(xiàn)有傳統(tǒng)技術(shù)相比利用成熟的化學(xué)氣相沉積技術(shù)，操...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。