技術(shù)編號:1938444
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種根據(jù)化學(xué)氣相沉積法將金剛石層施涂在石墨基體上 的方法。背景技術(shù)已知在真空涂布設(shè)備中采用CVD (化學(xué)氣相沉積)法從含碳?xì)庀喑?積金剛石晶體,從而可在適當(dāng)?shù)幕纳现苽浣饎偸繉?。在此,該工?氣體是氫氣(H2)和甲烷(CH4)。沉積金剛石相(sp、改性碳)的前提 條件為抑制熱力學(xué)穩(wěn)定性更強(qiáng)的碳結(jié)晶相(spS-改性碳-石墨)。為此使 用高濃度的原子氫,因?yàn)闅湓幽艽蜷_雙鍵,并且選擇性地腐蝕去除非 期望的碳相,從而使金剛石的生長穩(wěn)定化。采用加熱方式...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲(chǔ)備,不適合論文引用。