技術(shù)編號：1962184
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及到無機薄膜制備，尤其是一種新型超聲噴霧熱解薄膜制備裝置。背景技術(shù)無機薄膜在太陽能光電光熱利用、節(jié)能鍍膜玻璃、光電子通訊等領(lǐng)域具有重要的 應(yīng)用。無機薄膜的制備方法主要包括磁控濺射法、真空蒸發(fā)法、化學(xué)氣相沉積法、溶膠_凝 膠法、以及噴霧熱解法等。前三種鍍膜方式具有膜層均勻致密、容易控制膜厚、膜層附著力 強等優(yōu)點，但存在制備成本高昂、設(shè)備復(fù)雜等不足之處；盡管溶膠_凝膠法具有制備成本低 廉的優(yōu)點，但薄膜均勻性不理想，且不便于連續(xù)化生產(chǎn)。為此，噴霧熱解法受...
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