技術(shù)編號(hào):1982390
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種多線切割技術(shù),特別是涉及一種采用雙貯絲滾筒的雙向金剛線硅棒截?cái)鄼C(jī)。背景技術(shù)多線切割技術(shù)是目前世界上比較先進(jìn)的硅片加工技術(shù),它的原理是通過一根高速運(yùn)動(dòng)的鋼線帶動(dòng)附著在鋼線上的切割刃料對半導(dǎo)體等硬脆材料進(jìn)行摩擦,從而達(dá)到切割目的。線切割技術(shù)與傳統(tǒng)的刀鋸片、砂輪片及內(nèi)圓切割相比有具有效率高,產(chǎn)能高,精度高等優(yōu)點(diǎn)。在對工件的切割過程中,鋼線通過十幾個(gè)導(dǎo)線輪的引導(dǎo),在主線輥上形成一張線網(wǎng),而待加工工件通過工作臺(tái)的上升下降實(shí)現(xiàn)工件的進(jìn)給,并在壓力泵在的作...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。