技術(shù)編號(hào)：1983567
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于用來于玻璃基板、半導(dǎo)體基板等脆性材料基板形成刻劃槽(切槽)的刻劃裝置。背景技術(shù)在分?jǐn)啻嘈圆牧匣宓牟ＡЩ宓倪^程中，借由將刀輪(也稱為刻劃輪)按壓于基板表面并使移動(dòng)以形成刻劃槽的方法是一般已知 ，例如，在專利文獻(xiàn)I、專利文獻(xiàn)2亦以揭示。參閱圖8，說明專利文獻(xiàn)I的刻劃裝置的概要。在下端具備刀輪21的刻劃頭22設(shè)為可沿于X方向延伸的導(dǎo)引棒23的導(dǎo)引部24在X方向移動(dòng)。導(dǎo)引棒23以左右的支持柱25、25支持，形成為可沿導(dǎo)引軌道26在Y方向移動(dòng)。在刻劃...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。