技術(shù)編號：2012791
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及玻璃金屬化和飛秒激光微加工，特別是一種采用飛秒激光實現(xiàn)玻璃 表面無掩模選擇性金屬化的方法。 技術(shù)背景近年來，利用飛秒激光的超強超快特性對玻璃等透明材料進行微結(jié)構(gòu)改性，已 引起了物理、材料、生物等多學(xué)科領(lǐng)域的極大興趣。特別是在所選材料的破壞閾值 附近，飛秒激光可實現(xiàn)高效的納米加工。自Himo研究組首次發(fā)現(xiàn)飛秒激光誘導(dǎo)的 折射率變化并制作出光波導(dǎo)以來，飛秒激光應(yīng)用于集成微器件中的微加工越來越廣 泛。當(dāng)前芯片實驗室特別是微光學(xué)和微流體集成的迫切需求，為...
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