技術(shù)編號：2304302
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種超聲引線鍵合夾具，尤其涉及一種柔性超聲引線鍵合夾具。 背景技術(shù)在MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems，微機(jī)電系統(tǒng))超聲引線設(shè)備中，夾具性能的好壞對引線鍵合的效率具有顯著的影響。目前的夾具一般都是針對某種固定器件而設(shè)計(jì)的，單次只能加持一個器件，通用性和效率都相對較差。隨著MEMS器件小批量、多樣化、高效率生產(chǎn)的出現(xiàn)，這種專用性夾具越來越不能滿足應(yīng)用的需求。對不同器件的快速轉(zhuǎn)換和加持，滿足不同形狀和尺寸...
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