技術(shù)編號：2372495
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及的是一種微機(jī)電的裝置，特別是一種內(nèi)嵌鎳絲雙菱型結(jié)構(gòu)加熱式驅(qū)動SU-8基體微鉗。背景技術(shù) 隨著微機(jī)電技術(shù)的發(fā)展，微加工、微裝配過程中，微零件的拾取、操作和搬運(yùn)都離不開微夾持技術(shù)。微夾持器作為一種重要的通用微操作工具，其研究得到世界各國學(xué)者的普遍關(guān)注，大量新型微夾持器不斷出現(xiàn)，它們在動作原理、驅(qū)動方式、機(jī)構(gòu)等方面各有特色。驅(qū)動方式主要有靜電驅(qū)動、熱驅(qū)動、表面張力和壓電效應(yīng)驅(qū)動等。其中，熱驅(qū)動方式又可分為雙金屬熱致動、熱膨脹致動、熱氣動等?？紤]到微夾持...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。