技術(shù)編號：2374457
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種機械手和半導(dǎo)體設(shè)備。該機械手包括底板、支撐單元、第一調(diào)整單元和第二調(diào)整單元，所述支撐單元、所述第一調(diào)整單元和所述第二調(diào)整單元分別設(shè)置于所述底板上，所述第一調(diào)整單元位于所述底板一側(cè)的邊緣位置，所述第二調(diào)整單元位于所述底板上與所述第一調(diào)整單元相對的一側(cè)靠近邊緣的位置；所述支撐單元用于支撐晶片，所述晶片位于所述第一調(diào)整單元和所述第二調(diào)整單元之間，且所述第一調(diào)整單元和所述第二調(diào)整單元用于在所述晶片偏離初始位置時將所述晶片調(diào)整至所述初始位置。本發(fā)明實...
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