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      可光致成像的、介電絕緣的、可交聯(lián)的共聚酯的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2445134

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      本發(fā)明涉及可光致成像的、交聯(lián)的共聚酯電介質(zhì),該電介質(zhì)可用作微電子芯片基片上的光刻膠膜和用作生產(chǎn)微電子封裝體如多芯片組合層壓件的基片。在微電子芯片的普通制造方法中存在許多步驟,包括,例如,在芯片表面上涂敷粘合促進(jìn)劑并烘烤,其上涂敷介電絕緣層并烘烤,其上涂敷一層光刻膠膜并預(yù)烘烤,將光刻膠膜曝光并顯影,刻蝕圖案,除去光刻膠和固化有圖案的電路板。除了需要制造更可靠的芯片以外,還希望將盡可能多的制造步驟省去或合并。R.Rubner等人在“光科學(xué)和工程(Photo.S...
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