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      微機電設(shè)備中的排放口的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:2479588

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      本發(fā)明涉及微機電(MEM)設(shè)備內(nèi)的排放口。本發(fā)明可應(yīng)用于一種噴嘴中,制造這種類型的噴嘴時將可應(yīng)用于微機電系統(tǒng)(MEM)和金屬氧化物半導(dǎo)體(“CMOS”)集成電路中的技術(shù)結(jié)合起來,以及今后在該應(yīng)用的上下文中描述本發(fā)明。然而,應(yīng)該理解,本發(fā)明能夠更廣泛地應(yīng)用于其他類型的MEM設(shè)備內(nèi)的排放口。共同待審的專利申請在下面共同待審的專利申請中公開了與本發(fā)明相關(guān)的各種方法,系統(tǒng)與設(shè)備,這些共同待審的專利申請是本發(fā)明的申請人或者受讓人與本發(fā)明申請同時遞交申請的PCT/AU...
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