技術(shù)編號(hào)：2674528
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體涉及光刻技術(shù)，更具體地涉及用于真空環(huán)境的線性電機(jī)。背景技術(shù)光刻技術(shù)被廣泛認(rèn)為是制造集成電路(IC)以及其他器件和/或結(jié)構(gòu)的關(guān)鍵工藝。光刻設(shè)備是一種在光刻過程中將所需圖案應(yīng)用到襯底上，例如應(yīng)用到襯底的目標(biāo)部分上的機(jī)器。在使用光刻設(shè)備制造集成電路期間，通?？梢詫⒖蛇x地稱為掩?；蜓谀０娴膱D案形成裝置用于生成待形成在所述IC的單層上的電路圖案?？梢詫⒃搱D案轉(zhuǎn)移到襯底(例如，硅晶片)上的目標(biāo)部分(例如，包括一部分管芯、一個(gè)或多個(gè)管芯)上。通常，通過將圖案成...
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