技術(shù)編號(hào):2678180
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及微電子、微納光子器件制備等微納加工領(lǐng)域,特別涉及一種基于紫外LED光源的光刻機(jī)。背景技術(shù)光刻技術(shù)是一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。目前,基于紫外光源的光刻機(jī)大多以高壓汞燈做曝光光源,采用Hg的i線(365nm)曝光。其存在的主要問(wèn)題為1、光學(xué)系統(tǒng)復(fù)雜。汞燈光源屬于立體全方位輻照,為實(shí)現(xiàn)單一波長(zhǎng)均勻輻照,其光學(xué)系統(tǒng)包括光欄、快門(mén)、準(zhǔn)直鏡、透鏡組(一般需要幾十個(gè)甚至上百個(gè)透鏡)、i線濾光片、場(chǎng)鏡、反射鏡等等。復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)成為光刻機(jī)價(jià)格高昂和小型化的瓶頸...
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