技術(shù)編號：2684256
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的背景1.本發(fā)明的領(lǐng)域本發(fā)明涉及含有氧和/或硫脂環(huán)族(雜脂環(huán)族)單元的新聚合物和該聚合物作為光刻膠組合物的樹脂粘結(jié)劑組分的用途，特別在短波長如亞-200納米、尤其193納米下有效成像的化學(xué)放大正性光刻膠。2.技術(shù)背景光刻膠是用于將圖像轉(zhuǎn)移到基片上的光敏膜。在基片上形成光刻膠的涂層和然后將光刻膠層經(jīng)由光掩模暴露于活化輻射源。該光掩模具有對活化輻射不透明的區(qū)域和對活化輻射透明的其它區(qū)域。暴露于活化輻射可以為光刻膠涂層提供光致化學(xué)轉(zhuǎn)變，從而將光掩模的圖案轉(zhuǎn)...
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