技術(shù)編號(hào):2684259
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及如下 <1>一種化學(xué)增幅正性抗蝕劑組合物,包含含有在側(cè)鏈上具有酸不穩(wěn)定(對(duì)酸敏感)基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元的樹脂以及產(chǎn)酸劑,其中,基于所有的結(jié)構(gòu)單元的總摩爾量,樹脂包含按摩爾計(jì)40%至90%的在側(cè)鏈上具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元,并且在側(cè)鏈上具有酸不穩(wěn)定基團(tuán)的結(jié)構(gòu)單元包含由式(I)表示的結(jié)構(gòu)單元 其中,R1代表氫原子或甲基基團(tuán),Z代表單鍵或-(CH2)k-CO-O-,k代表1至4的整數(shù),R2在各種情況下獨(dú)立地是C1-C6烷...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。