技術(shù)編號：2693864
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型涉及一種光驅(qū)動雙軸光學(xué)掃描探針，特別是采用基于光電轉(zhuǎn)換技術(shù)的掃描微鏡作為光學(xué)掃描器件。背景技術(shù)采用硅微加工技術(shù)制造的微型光學(xué)掃描器件在光學(xué)掃描，光學(xué)成像，激光投影等領(lǐng)域有非常重要的應(yīng)用。特別是在光學(xué)內(nèi)窺成像領(lǐng)域，集成有微型光學(xué)掃描器件的成像探針可在人體各種直徑的管道(如血管，消化道等)內(nèi)完成掃描，與外部的光學(xué)成像設(shè)備相結(jié)合，從而獲得人體組織二維圖像或三維圖像。通常，微型光學(xué)掃描器件都采用鋁或金導(dǎo)線鍵合技術(shù)在器件表面的焊盤與外部金屬導(dǎo)線之間建立穩(wěn)定...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。