技術(shù)編號(hào)：2694021
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體印刷線路板激光直寫曝光成像設(shè)備領(lǐng)域，具體涉及一種基于等厚干涉原理檢測(cè)全反射棱鏡膠合面平行度的裝置。背景技術(shù)[0002]光刻機(jī)投影光路中的全反射(TIR)棱鏡是光刻機(jī)的重要部件之一，其作用是銜接照明系統(tǒng)與成像系統(tǒng)，同時(shí)具有轉(zhuǎn)折光路，使整個(gè)光路布局更加緊湊合理。[0003]隨著光刻技術(shù)的發(fā)展，對(duì)曝光線條質(zhì)量的要求越來越高，其中的光學(xué)元件的加工精度要求也不斷提高，TIR棱鏡的膠合面的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。