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      用于平面光子電路的垂直光學(xué)耦合器的制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2696094

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      于此描述的是用于向諸如在絕緣體上硅(SOI)晶片上制備的光子電路的平面光子電路提供垂直光學(xué)耦合器(VOC)的裝置、系統(tǒng)以及方法。在一個(gè)實(shí)施例中,所述VOC包括波導(dǎo),所述波導(dǎo)由具有在1.45到3.45的范圍中的折射率的材料構(gòu)成,所述波導(dǎo)包括第一端部,所述第一端部被配置為通過所述波導(dǎo)和另一介質(zhì)之間的全內(nèi)反射幾乎垂直地反射光;第二端部,所述第二端部接收用于反射的光;以及第三端部,所述第三端部輸出所反射的光。所述VOC與具有第一區(qū)域的Si波導(dǎo)耦合,所述第一區(qū)域包含...
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