技術編號：2698613
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明提供了一種，所述方法包括在基板上形成多個柵格圖案；在所述柵格圖案上形成金屬柵格圖案；在所述金屬柵格圖案上形成鍍層；以及將由所述金屬柵格圖案和所述鍍層組成的模具與所述柵格圖案分離，這可以降低生產(chǎn)成本，提高工藝效率，并且提供具有改善的耐用性和可靠性的用于納米壓印的模具。專利說明[0001]相關申請的交叉引用[0002]本申請要求于2011年7月28日提交到韓國知識產(chǎn)權局的韓國專利申請N0.10-2011-0075191的優(yōu)先權，其全部內(nèi)容通過引用的方式并...
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