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      一種偏差補(bǔ)正方法和裝置制造方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2700158

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      本發(fā)明公開(kāi)了一種偏差補(bǔ)正方法和裝置,計(jì)算曝光后形成的圖形上至少一個(gè)點(diǎn)在X和Y方向上的位移偏移量,還計(jì)算所述圖形上至少一條對(duì)角線的旋轉(zhuǎn)角度偏移量;根據(jù)得到的位移偏移量以及旋轉(zhuǎn)角度偏移量進(jìn)行偏差補(bǔ)正。本發(fā)明的偏差補(bǔ)正技術(shù)利用曝光后形成的圖形的對(duì)角線的旋轉(zhuǎn)角度進(jìn)行偏差補(bǔ)正,比現(xiàn)有技術(shù)中計(jì)算四條邊的旋轉(zhuǎn)角度更能反應(yīng)曝光后形成圖形的旋轉(zhuǎn)趨勢(shì),有效提高了偏差補(bǔ)正準(zhǔn)確性;并且,由于對(duì)設(shè)計(jì)圖形沒(méi)有形狀和位置的要求,因此對(duì)何種圖形均能夠計(jì)算出曝光后形成圖形的旋轉(zhuǎn)角度;另外,...
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