技術(shù)編號:2700234
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。圖案生成器包括具有平面鏡的平面鏡陣列板、設(shè)置在平面鏡陣列板上方的至少一個電極板、設(shè)置在平面鏡上方的小透鏡、以及夾置在平面鏡陣列板和電極板之間的至少一個絕緣層。電極板包括第一導(dǎo)電層和第二導(dǎo)電層。小透鏡具有在電極板中形成的非豎直側(cè)壁。圖案生成器進(jìn)一步包括夾置在兩個電極板之間的至少一個絕緣體。非豎直側(cè)壁可以是U形側(cè)壁或L形側(cè)壁。本發(fā)明還提供了用于光刻系統(tǒng)的圖案生成器。專利說明用于光刻系統(tǒng)的圖案生成器[0001]本發(fā)明一般地涉及半導(dǎo)體,更具體地來說,涉及圖案生成器...
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