技術(shù)編號：2700625
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種，包括以下步驟（1)提供一模仁；(2)制作一光阻圖案于該模仁上；（3)鍍制一金屬薄膜；（4)形成多個金屬圓柱；（5)進(jìn)行加熱及退火；（6)進(jìn)行干蝕刻；以及（7)移除金屬圓球。通過本發(fā)明方法形成的無缺陷模仁可用于制造磊晶晶圓的納米壓印制造工藝，微觀上可精確控制模仁圖案間距的一致及排除模仁圖案的錯位問題，宏觀上可消除嘉晶晶圓的格紋的廣生，大幅提局嘉晶晶圓的產(chǎn)品合格率。無缺陷模仁具有制造簡易、成本低廉又可完全復(fù)制的特性，可使納米壓印技術(shù)得以真正...
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