技術(shù)編號：2701844
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種深紫外光刻照明系統(tǒng)，包括衍射元件和聚光鏡組；石英棒，位于聚光鏡組的光路上，聚光鏡組會聚的光經(jīng)由石英棒的入射端入射并經(jīng)由出射端出射；石英棒控制裝置，負(fù)責(zé)控制石英棒，有垂直于光軸的旋轉(zhuǎn)軸，繞旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動可調(diào)換石英棒的兩端，沿旋轉(zhuǎn)軸移動可將不同的石英棒置于光軸上。石英棒控制裝置由高精度旋轉(zhuǎn)臺控制轉(zhuǎn)動，由高精度一維平移臺控制軸向移動；錐形棱鏡組位于準(zhǔn)直鏡組的出射光路上；準(zhǔn)直鏡組位于控制裝置后，石英棒的出射光路上；復(fù)眼透鏡陣列在準(zhǔn)直鏡組后，負(fù)責(zé)將光束分解為多個二級...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。