技術(shù)編號(hào)：2709333
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的基板載臺(tái)裝置（20A)，具備延伸于掃描方向（X軸方向）、能移動(dòng)于掃描交叉方向（Y軸方向）的位置的第1步進(jìn)導(dǎo)件（50)，被第1步進(jìn)導(dǎo)件（50)從下方支承、能沿第1步進(jìn)導(dǎo)件（50)上面移動(dòng)于沿掃描方向的位置且與第1步進(jìn)導(dǎo)件（50)一起移動(dòng)于沿掃描交叉方向的位置的微動(dòng)載臺(tái)(30)，以及以第2步進(jìn)導(dǎo)件（54)的上面為基準(zhǔn)面并使用設(shè)于微動(dòng)載臺(tái)（30)的Z感測(cè)器（38z)求出微動(dòng)載臺(tái)（30)的Z傾斜位置信息的位置測(cè)量系。專利說(shuō)明移動(dòng)體裝置、曝光裝置、平面顯示器...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。