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      一種對(duì)稱式雙遠(yuǎn)心投影光學(xué)系統(tǒng)的倍率調(diào)節(jié)方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2714511

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      本發(fā)明公開(kāi),其包括1、提供一種對(duì)稱式雙遠(yuǎn)心投影光學(xué)系統(tǒng),所述投影光學(xué)系統(tǒng)沿其光軸方向包括前組、孔徑光闌和后組,前組包括第一至第三鏡組,第一鏡組具有負(fù)光焦度,第二、第三鏡組具有正光焦度,后組包括第四至第六鏡組,第四、第五鏡組具有正光焦度,第六鏡組具有負(fù)光焦度;前組和后組關(guān)于孔徑光闌對(duì)稱,并滿足一定的關(guān)系式;2、同時(shí)移動(dòng)第一、第六兩個(gè)鏡組中的透鏡位移量,來(lái)調(diào)節(jié)光學(xué)系統(tǒng)的投影倍率。采用本發(fā)明的倍率調(diào)節(jié)方法,使用性能優(yōu)良的光學(xué)材料時(shí)也能有效地校正各項(xiàng)像差,擴(kuò)大像方...
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