技術(shù)編號(hào):2714683
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了,屬于聲表面波器件,所述方法包括將烘箱的溫度穩(wěn)定在160攝氏度,晶片將晶片放入所述烘箱中烘烤;烘烤10分鐘之后將所述烘箱的溫度降至155攝氏度,再烘烤10分鐘之后將所述烘箱的溫度降至150攝氏度,恒溫保持1小時(shí);將所述烘箱的溫度降至120攝氏度,溫度恒定10分鐘后取出所述晶片。本發(fā)明通過將晶片的烘烤溫度控制在150攝氏度至160攝氏度,使光刻膠達(dá)到流變狀態(tài),達(dá)到最大限度的保護(hù)線條作用,減緩側(cè)向腐蝕的速度,實(shí)現(xiàn)厚膜細(xì)線條的目的,從而降低干刻或剝離...
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