技術編號：2720356
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。一種基于基于自清潔表面結(jié)構(gòu)制造的六光束干涉系統(tǒng)，實現(xiàn)結(jié)構(gòu)簡單，可靠性高，受外界環(huán)境和噪聲影響小的一體式系統(tǒng)。裝置大體可分為分光模塊、角度調(diào)節(jié)模塊、等厚相干模塊三部分。其特征是激光進入裝置系統(tǒng)內(nèi)部后，在半反半透鏡的作用下分成三束能量相同的激光束，三束激光射到全反鏡上，通過全反鏡的角度調(diào)節(jié)，使得三束激光以相同的入射角度分別射到高度相同，大小相等的楔形板上，三個楔形板組成正三角形，每個楔形板上表面均鍍有半反半透膜，下表面均鍍有全反膜，在鍍有膜的楔形板的作用下，三...
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