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      圖案曝光方法和圖案曝光設(shè)備的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2726568

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      本發(fā)明涉及圖案曝光方法和設(shè)備,尤其是用于在輸送帶-樣工件時(shí),曝 光上面的周期圖案的圖案曝光方法和設(shè)備。背景技術(shù)作為薄并且具有大屏幕的圖像顯示器,其中通過前玻璃片和后玻璃片之間的放電來產(chǎn)生光的等離子體顯示面片(以下稱為PDP)被廣泛使用。在 PDP中,為了屏蔽通過放電所產(chǎn)生的電磁波,提供電磁屏蔽。至于電磁屏 蔽,有形成在前玻璃片上的薄金屬膜,和在前玻璃片的前側(cè)安置的電磁屏 蔽膜。最近,主要使用具有高屏蔽性能和高光學(xué)透明度的電磁屏蔽膜。該 電磁屏蔽膜是上面形成...
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