技術(shù)編號(hào)：2731120
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種。技術(shù)背景衰減相移掩模(APSM)采用一種相移器(shifter)，其在鉻較佳地阻隔 光時(shí)選擇性地發(fā)送約6-15%的光。然而，受限于APSM的曝光分辨率，僅使用APSM難以形成70nm或更 小的精細(xì)圖案?？赏ㄟ^(guò)圖1和圖2來(lái)說(shuō)明。圖1示出現(xiàn)有技術(shù)的APSM，圖2是示出使用圖1中所示的APSM透射 的光強(qiáng)度曲線圖。參照?qǐng)D1和圖2，現(xiàn)有技術(shù)的APSM具有在石英片10上被圖案化的相 移器20。相移器20由形成100nm圖案的區(qū)域21和形成70nm圖案...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。