技術(shù)編號(hào):2734647
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種含烷烴基雙環(huán)胍光堿產(chǎn)生劑的光刻膠組合物。 背景技術(shù)現(xiàn)代文明是電子芯片驅(qū)動(dòng)的,電子芯片都是光刻工藝的產(chǎn)物,而光刻膠是光刻的關(guān)鍵材料,又稱光致抗蝕劑。光刻膠廣泛用于印刷電路和集成電路的制造以及印刷制版等過(guò)程。中國(guó)的微電子和平板顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速,帶動(dòng)了光刻膠與高純?cè)噭┕?yīng)商等產(chǎn)業(yè)鏈中的相關(guān)配套企業(yè)的建立和發(fā)展。特別是2009年LED (發(fā)光二極管)的迅猛發(fā)展,更加有力地推動(dòng)了光刻膠產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。但是長(zhǎng)期以來(lái),光刻膠產(chǎn)業(yè)存在下列問(wèn)題一.使用光酸產(chǎn)生劑,...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。