技術編號：2746037
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明的實施例涉及一種線性電動機，并且具體地涉及一種用于例如半導體光刻 術等精確驅(qū)動應用的線性電動機。背景技術許多自動制造過程需要能夠迅速地和精確地將工件移動到執(zhí)行一個或更多個工 藝步驟的位置。在一些應用中，例如在半導體光刻術中，這種精確地定位必須實現(xiàn)接近納米 的精確度，和與現(xiàn)代光刻過程的產(chǎn)量要求相符的速度。與以納米量級的精確度定位設備相關聯(lián)的挑戰(zhàn)具有重要意義，在光刻系統(tǒng)的情形 中尤其是這樣。在光刻術情形中，襯底經(jīng)過多次處理，這些處理產(chǎn)生現(xiàn)代的集成電路。這...
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