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      大幅面導(dǎo)電基板粗線路直寫(xiě)裝置的制作方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):2749446

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      本實(shí)用新型涉及一種在導(dǎo)電基板上制備微粗細(xì)導(dǎo)電線路的直寫(xiě)裝置,尤其涉及一種能在大幅面導(dǎo)電基板上快速加工、高精度定位、重復(fù)直寫(xiě)的裝置。 背景技術(shù)目前不同結(jié)構(gòu)的激光直寫(xiě)系統(tǒng),應(yīng)用于如集成電路制造、微光學(xué)元件加工、MEMS、 光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)防偽等多個(gè)行業(yè)中。因此,激光直寫(xiě)系統(tǒng)的研制工作備受關(guān)注?,F(xiàn)有比較 成熟的布線工藝包括絲網(wǎng)印刷、單振鏡平臺(tái)步進(jìn)激光直寫(xiě)、平臺(tái)移動(dòng)激光直寫(xiě)和掩膜光刻 等,具體來(lái)看 絲網(wǎng)印刷絲網(wǎng)網(wǎng)版上涂滿感光膠后通過(guò)預(yù)置圖案的菲林曝光,曝光固化后的感...
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